《電子技術(shù)應(yīng)用》
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幾種MEMS陀螺儀(gyroscope)的設(shè)計和性能比較

2009-03-13
作者:曹志良
關(guān)鍵詞: 傳感技術(shù) MEMS

    現(xiàn)在市場上的MEMS陀螺儀主要有SYSTRON、BOSCH和INVENSENSE設(shè)計和生產(chǎn)。前兩者設(shè)計的陀螺儀屬高端產(chǎn)品,主要用于汽車。后者的屬低端產(chǎn)品,主要用于消費(fèi)類電子,象任天堂的Wii。ADI2003年宣布設(shè)計和制造出了Z軸陀螺儀ADXRS300,但是沒有正式成為產(chǎn)品。下面主要介紹和比較三家公司的陀螺儀的設(shè)計、加工和性能。

 

一、Systron Donner “MICROGYRO”


MEMS傳感器:雙石英調(diào)音叉

信號處理:混合信號架構(gòu),數(shù)字和模擬輸出;開放回路;兩個用于加速度傳感器的A/D通道

封裝:MEMS封裝在陶瓷腔體中并跟ASIC一起封裝在塑料腔體中。

缺點(diǎn):成本較高

 

 

 

Systron Donner “MICROGYRO”  


二、博世BOSCH SMG 070  
 


MEMS:平面MEMS;Z軸

信號處理:閉合回路;混合模式;自測試

缺點(diǎn):尺寸太大

 

 

BOSCH SMG 070  

 

 

 

BOSCH SMG 070原理圖

 

三、INVENSENSE IDG 300


MEMS:體加工技術(shù);用ASIC作封蓋并提供收集和驅(qū)動信號的電極

信號處理:開路;模擬

缺點(diǎn):無零點(diǎn)修正;溫度導(dǎo)致+/-50度/秒的漂移。(汽車電子要求+/-1.5度/秒)

 

 

INVENSENSE IDG 300

 

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