華潤微電子有限公司（“華潤微電子”）附屬公司華潤上華科技有限公司（“華潤上華”）近日宣布，繼2010年首顆200V SOI CDMOS產品量產后，日前更高性價比的第二代SOI工藝實現量產。該工藝是一種集成多種半導體器件的集成電路制造技術，由華潤上華在2010年實現量產的一代工藝基礎上作了工藝升級，達到更高的性價比，這在國內尚屬首家。第二代工藝的推出顯示了華潤上華已經全面掌握了SOI工藝技術，具備了根據市場需求持續開發具有自主知識產權的SOI工藝技術能力。華潤上華的這項技術填補了國內技術空白，并已成功打入國際市場，為三星、長虹等國內外著名PDP電視廠家提供芯片。

 

    200V SOI CDMOS第一代工藝技術依托華潤上華現有的低壓CMOS工藝平臺，結合深槽刻蝕技術及SOI介質隔離技術，開發了200V NLDMOS 以及200V PLDMOS 以及200V 高壓特種器件NLIGBT，實現了芯片高電壓大電流驅動能力。該工藝所采用的深槽刻蝕、填充方法與傳統的CMOS工藝生產線基本兼容，開發成本低，不需要增加專用的深槽填充與平坦化設備，能較好地實現器件之間的隔離，是實現高壓器件工藝與普通低壓CMOS工藝相兼容的關鍵技術之一。二代工藝與一代工藝一樣，集成了多種MOS器件，包括：低壓5V 標準CMOS、200V高壓NLDMOS、200V 高壓PLDMOS、200V 高壓IGBT及作為ESD保護器件200V 高壓二極管。與一代工藝相比，二代工藝采用0.5μm 后段并對關鍵器件做了優化調整，達到了更高的性價比。在研發過程中，該技術已累計申請涉及SOI的器件、結構、工藝、制造、測試驗證等多個方面的發明專利105項。

 

    華潤上華的200V SOI CDMOS工藝可滿足國內設計公司對高壓、高功率產品的開發需求，同時也可滿足客戶對高壓電源驅動管理——LED和PDP驅動及控制類芯片的巨大市場需求。采用的SOI圓片襯底材料由國內硅片廠家提供，可有效降低成本，提高了產品競爭力。與Si基比，SOI制造的芯片具有顯著的節電效果，有利于大幅降低用電量。另外，SOI在高溫下性能非常穩定，具有高可靠性。目前全球能提供基于SOI工藝的PDP驅動芯片僅有4家，采用華潤上華工藝的這款芯片在部分性能上已達到國際先進水平。

 

    SOI的應用非常廣泛，市場前景可觀。隨著微處理器（CPU）、游戲機芯片（GPU）制程對SOI 技術需求愈來愈強，SOI 已成為各大晶圓代工角逐核心客戶青睞的武器，其應用市場已拓展到功率和靈巧器件以及MEMS 應用，特別是在汽車電子、顯示、無線通訊等方面發展迅速。VLSI研究預測，SOI市場未來幾年將會以健康的速率持續成長，預期SOI未來5年的年均復合增長率將達11%，到2012年 銷售額將達到11億美元。

 

. 關于華潤微電子有限公司

 

    華潤微電子有限公司是華潤集團旗下負責微電子業務投資、發展和經營管理的高科技企業，亦是中國本土規模和影響力最大的綜合性微電子企業之一，連續9年被國家工業和信息化部評為中國電子信息百強企業之一。公司以振興民族微電子產業為己任，矢志成為中國本土最具競爭力的半導體公司。公司為中國內地領先的模擬半導體公司，其業務包括開放式晶圓代工、集成電路設計、集成電路測試封裝及分立器件。擁有5-8英寸晶圓生產線5條，年產晶圓370余萬片，是國內半導體產業鏈最為齊全的企業。

 

    華潤微電子成立于2000年，2002年收購國內最大的微電子企業華晶集團，成為華潤旗下負責微電子業務投資、發展和經營管理的企業，并于2003年啟動6英寸晶圓生產線建設項目；于2006年與新加坡STATS ChipPAC合作發展集成電路封測業務；于2007年啟動8英寸晶圓生產線建設項目，并于2009年落成投產，是國內唯一依托自有資金、技術和市場建立的最高技術水平的晶圓生產線；2011年起實施“走出去”戰略，設立臺灣窗口公司，在美國硅谷投資設立集成電路設計公司。

 

 

. 關于華潤上華科技有限公司

 

    華潤上華科技有限公司為華潤微電子有限公司（“華潤微電子”）旗下從事開放式晶圓代工業務的專業公司，于中國模擬晶圓代工行業處于領先地位，于中國、亞洲及海外地區擁有逾十年服務客戶的經驗。公司為其客戶提供主流和成熟工藝技術的晶圓代工服務，是目前中國內地規模最大的6英寸開放式晶圓代工企業，擁有每月逾11萬片6英寸晶圓產能及3.5萬片8英寸晶圓產能，可為客戶提供更豐富的工藝平臺與代工服務。欲知更多詳情請瀏覽：www.csmc.com.cn