《電子技術應用》
您所在的位置:首頁 > 模擬設計 > 業界動態 > 我國半導體SiC單晶粉料和設備生產實現新突破

我國半導體SiC單晶粉料和設備生產實現新突破

2018-06-07
關鍵詞: 電子 單晶 半導體 集成

  在中國電子科技集團公司第二研究所(簡稱中國電科二所)生產大樓內,100臺碳化硅(SiC)單晶生長設備正在高速運行,SiC單晶就在這100臺設備里“奮力”生長。

  中國電科二所第一事業部主任李斌說:“這100臺SiC單晶生長設備和粉料都是我們自主研發和生產的。我們很自豪,正好咱們自己能生產了。”

  SiC單晶是第三代半導體材料,以其特有的大禁帶寬度、高臨界擊穿場強、高電子遷移率、高熱導率等特性, 成為制作高溫、高頻、大功率、抗輻照、短波發光及光電集成器件的理想材料,是新一代雷達、衛星通訊、高壓輸變電、軌道交通、電動汽車、通訊基站等重要領域的核心材料,具有重要的應用價值和廣闊的應用前景。

  中國電科二所第一事業部主任李斌說:“高純SiC粉料是SiC單晶生長的關鍵原材料,單晶生長爐是SiC單晶生長的核心設備,要想生長出高質量的SiC單晶,在具備高純SiC粉料和單晶生長爐條件下,還需要對生產工藝進行設計、調試和優化。”

  據介紹,單晶生長爐需要達到高溫、高真空、高潔凈度的要求,目前國內只有兩家能生產單晶生長爐,中國電科二所是其中之一。他們突破了大直徑SiC生長的溫場設計,實現可用于150mm直徑SiC單晶生長爐高極限真空、低背景漏率生長爐設計制造及小批量生產;他們還突破了高純SiC粉料中的雜質控制技術、粒度控制技術、晶型控制技術等關鍵技術,實現了99.9995%以上純度的SiC粉料的批量生產。


本站內容除特別聲明的原創文章之外,轉載內容只為傳遞更多信息,并不代表本網站贊同其觀點。轉載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權歸版權所有權人所有。本站采用的非本站原創文章及圖片等內容無法一一聯系確認版權者。如涉及作品內容、版權和其它問題,請及時通過電子郵件或電話通知我們,以便迅速采取適當措施,避免給雙方造成不必要的經濟損失。聯系電話:010-82306118;郵箱:aet@chinaaet.com。
主站蜘蛛池模板: 久久久精品久久久久三级 | 欧美国产日韩在线播放 | 在线观看毛片网站 | 一级毛片成人免费看a | 亚洲男人的天堂在线观看 | 波多野结衣中文一区二区免费 | 欧美性精品videofree | 国产91第一页 | 亚洲免费网 | 亚洲一区二区三区免费在线观看 | 最新日韩欧美不卡一二三区 | 日本亚洲综合 | 日韩精品一区二区三区在线观看 | 亚洲午夜综合网 | 性做久久久久免费观看 | 国产欧美日韩视频在线观看一区二区 | 亚洲码一区二区三区 | 免费看成人毛片日本久久 | 99精品视频在线观看 | 欧美成人精品三级网站 | 风流慈禧一级毛片在线播放 | 色在线看| 国产欧美一区二区三区在线 | 日本久久久久一级毛片 | 特级毛片8级毛片免费观看 特级毛片免费观看视频 | 国产黄色一级毛片 | 国产禁女女网站免费看 | 久草成人在线视频 | 欧美在线做爰高清视频 | 国产精品视频免费一区二区三区 | 99爱视频在线观看 | 永久网站色视频在线观看免费 | 国产成人免费视频 | 无码免费一区二区三区免费播放 | 国产色视频在线观看免费 | 亚洲 欧美 精品专区 极品 | 久草视频在线观 | 亲子乱子伦xxxxxinin | 看一级特黄a大片国产 | 草草草在线视频 | 色老头一区二区三区在线观看 |