基于SoPC的雙頻激光回饋位移測量系統(tǒng)設計
所屬分類:技術論文
上傳者:aet
文檔大小:1702 K
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文檔介紹:介紹了一種基于SoPC的雙頻激光回饋位移測量系統(tǒng)的實現(xiàn)方法。該系統(tǒng)利用雙頻激光回饋理論和數(shù)字細分電路,對兩路正交的光回饋信號采用五細分和四細分電路相結合進行細分處理,解決了單偏振光測量位移分辨率不高的問題。實驗證明了本系統(tǒng)的可行性,精度達到了0.791 nm,是一種應用很好的位移測量系統(tǒng)。
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