根據芯思想研究院的數據表明，2018年全球光刻機出貨逾600臺，較2017年的460臺增幅達30%。

2018年ASML、Nikon、Canon三巨頭半導體用光刻機出貨374臺，較2017年的294臺增加80臺，增長27.21%。

2018年ASML、Nikon、Canon三巨頭光刻機總營收118.92億歐元，較2017年增長25.21%。

從EUV、ArFi、ArF機型的出貨來看，全年共出貨134臺。其中ASML出貨120臺，占有9成的市場。

ASML

2018年ASML光刻機出貨224臺，營收達82.76億歐元，較2017年成長35.74%。其中EUV光刻機營收達18.86億歐元，較2017年增加7.85億歐元。

2018年ASML共出貨224臺光刻機，較2017年198年增加26臺，增長13.13%。其中EUV光刻機出貨18臺，較2017年增加7臺；ArFi光刻機出貨86臺，較2017年增加10臺；ArF光刻機出貨16臺，較2017年增加2臺；KrF光刻機出貨78臺，增加7臺；i-line光刻機出貨26臺，和2017年持平。

2018年單臺EUV平均售價1.04億歐元，較2017年單臺平均售價增長4%。而在2018年一季度和第四季的售價更是高達1.16億歐元。

目前全球知名廠商包括英特爾Intel、三星Samsung、臺積電TSMC、SK海力士SK Hynix、聯電UMC、格芯GF、中芯國際SMIC、華虹宏力、華力微等等全球一線公司都是ASML的客戶。

2018年中國已經進口多臺ArFi光刻機，包括長江存儲、華力微二期。

Nikon

2018年度（非財年），Nikon光刻機出貨106臺，營收達20.66億歐元，較2017年成長25.29%。

2018年度，Nikon半導體用光刻機出貨36臺，比2017年度增加9臺，增長33.33%。其中ArFi光刻機出貨5臺，較2017年度減少1臺；ArF光刻機出貨9臺，較2017年度增加1臺；KrF光刻機出貨5臺，較2017年度增加3臺；i-line光刻機出貨17臺，較2017年度增加6臺。

2018年度，Nikon半導體用光刻機出貨36臺中，其中全新機臺出貨19臺，翻新機臺出貨17臺。

2018年度，Nikon面板（FPD）用光刻機出貨70臺。

Canon

2018年Canon光刻機出貨183臺，營收達15.5億歐元，較2017年微增1.6%。

2018年Canon半導體用光刻機出貨達114臺，較2017年增加44臺，增長62.85%。但是主要是i-line、KrF兩個低端機臺出貨。

2018年全年面板（FPD）用光刻機出貨69臺。

其他光刻機公司

上海微電子裝備(集團)股份有限光刻機主要用于廣泛應用于集成電路前道、先進封裝、FPD、MEMS、LED、功率器件等制造領域，2018年出貨大概在50-60臺之間。

德國SUSS光刻機主要用于半導體集成電路先進封裝、MEMS、LED，2018年光刻機收入約1.2億歐元，較2017年增長約7個百分點。

ASML公司EUV進展

2018年，ASML和IMEC建設聯合實驗室，目標一是加速EUV技術導入量產；二是實驗以0.55 NA取代目前的0.33 NA，具有更高NA的EUV微影系統能將EUV光源投射到較大角度的晶圓，從而提高分辨率，并且實現更小的特征尺寸。

2019年下半年，ASML將推出每小時吞吐量為170片的EUV新機型NXE：3400C；2021年將推出0.55 NA的新機型EXE：5000，可用于2納米生產。

ASML預估2019年全年將出貨30臺EUV光刻機，據悉DRAM公司也將于2019年開始采用EUV光刻機制造。