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盛美上海:電鍍獲批量訂單

2022-03-02
來源:半導體風向標

本文來自方正證券研究所2022年2月22日發布的報告《盛美上海:前后道電鍍、槽式清洗設備獲批量訂單》,欲了解具體內容,請閱讀報告原文,陳杭S1220519110008

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事件:2月15日,盛美上海接到29臺Ultra C Wb槽式濕法清洗設備的批量訂單;2月18日,宣布獲得了13臺Ultra ECP map前道銅互連電鍍設備及8臺 Ultra ECP ap后道先進封裝電鍍設備采購訂單。

加速平臺型企業布局。公司從較早時期就開始考慮平臺化戰略,2020 年公司實現營業收入10億元,同比增長33%,其中清洗占81%,先進封裝濕法占10%,電鍍以及立式爐占6%,此次獲批量電鍍及清洗訂單將進一步加速公司平臺化布局。

槽式濕法清洗獲29臺批量采購,清洗地位進一步鞏固。公司于2月15日宣布其獲得29臺Ultra C wb槽式濕法清洗設備訂單,其中包含本土同一家代工客戶的16臺重復訂單,計劃從2022年分兩個階段發貨。該設備有效利用化學藥液和去離子水(DIW), 對環境友好且憑借其精巧的模塊化設計,占用空間小的優點,可以在生產車間靈活配置。受益下游晶圓廠擴產及國產替代,公司清洗設備將實現進一步放量。

前道電鍍設備打破美商壟斷,加速推動國產替代。目前全球前道晶圓制造的電鍍設備主要被泛林壟斷;后道先進封裝電鍍則主要被應用材料和泛林兩家設備供應商壟斷。盛美上海此次獲得大批量前后道電鍍設備訂單,打破了電鍍設備被美商高度壟斷的市場格局,推動國產化替代。

Ultra ECP map前道電鍍設備可滿足先進節點大馬士革電鍍需求。Ultra ECP map前道銅互連電鍍設備建立在公司成熟的ECP技術基礎之上,該設備專為雙大馬士革應用而設計。ECP電鍍系統配置了盛美上海獨有的多陽極局部電鍍功能,讓客戶可對大馬士革結構上的金屬銅沉積層進行有效控制。該設備的關鍵工藝優點包括優異的圖形結構填充能力、良好的片內及片間金屬膜厚均勻性,能夠兼容 5nm 以下的超薄籽晶層,滿足先進技術節點的大馬士革電鍍需求,同時降低耗材及擁有成本,確保高產能和正常運行時間。

盈利預測:預計公司2021-2023年營收15.8/26.8/40.9 億元,歸母凈利潤 2.9/5.0/7.0 億元,維持“推薦”評級。

風險提示:(1) 技術研發不及預期;(2) 市場拓展進度不及預期;(3) 疫情持續導致的供應鏈風險。

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