隨著無(wú)線(xiàn)通信從5G向Beyond 5G（B5G）和6G發(fā)展，對(duì)于6 GHz以上電磁波頻譜的使用國(guó)際上還存在爭(zhēng)論，有些國(guó)家已經(jīng)將6 GHz全頻段授權(quán)用于Wi-Fi 6E，而更多的國(guó)家在考慮把此頻段部分用于蜂窩無(wú)線(xiàn)通信（6G）。因此，源于對(duì)不同制式和頻段間信號(hào)的隔離需求，工作于6 GHz的高品質(zhì)因數(shù)（Q值）聲波諧振器以及高性能濾波器將會(huì)成為下一階段無(wú)線(xiàn)通信發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)，也是我國(guó)6G技術(shù)發(fā)展必須要自主可控的基礎(chǔ)射頻元器件與芯片。

　　近日，中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)微電子學(xué)院左成杰教授研究團(tuán)隊(duì)在鈮酸鋰（LiNbO3）壓電薄膜上設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了Q值超過(guò)100000的高頻（6.5 GHz）微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）諧振器，與文獻(xiàn)中現(xiàn)有的工作相比，把Q值提升了2個(gè)數(shù)量級(jí)。相關(guān)成果以“Ultra High Q Lithium Niobate Resonator at 15-Degree Three-Dimensional Euler Angle”為題于5月16日在線(xiàn)發(fā)表在電子器件領(lǐng)域知名期刊IEEE Electron Device Letters上。

　　研究人員提出了一種基于三維歐拉角α在x-cut單晶鈮酸鋰壓電薄膜上設(shè)計(jì)并制備高頻MEMS諧振器的方法。通過(guò)設(shè)計(jì)諧振器的電極結(jié)構(gòu)，工作于6.5 GHz的S1振動(dòng)模態(tài)被激發(fā)，并且當(dāng)聲波傳播方向（α）位于15°時(shí)，諧振器并聯(lián)諧振頻率（fp）處的品質(zhì)因數(shù)（Qp）高達(dá)131540，對(duì)應(yīng)的諧振器優(yōu)值k2·Qp和fp·Qp分別達(dá)到6300和8.6×1014 Hz（圖1）。

　　圖1. 新型MEMS諧振器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及性能測(cè)試：(a)三維歐拉角的定義；(b)制備的諧振器SEM照片；(c)15°諧振器導(dǎo)納曲線(xiàn)測(cè)試結(jié)果

　　如圖2所示，與近10年其它的工作在類(lèi)似頻段的諧振器比較，該新型MEMS諧振器把Q值提升了2個(gè)數(shù)量級(jí)，并且首次突破了諧振頻率與Q值乘積（f·Q）這一難以同步提升的諧振器優(yōu)值極限。更重要的是，相關(guān)工作成功發(fā)現(xiàn)了利用三維歐拉角可以對(duì)鈮酸鋰薄膜介電損耗和聲學(xué)損耗進(jìn)行調(diào)控的新機(jī)理，為未來(lái)微納器件在高頻無(wú)線(xiàn)通信、醫(yī)學(xué)超聲成像、智能信息處理和物聯(lián)網(wǎng)傳感器等應(yīng)用領(lǐng)域打開(kāi)了更多的可能性。

　　圖2. 新型MEMS諧振器與近10年其它鈮酸鋰諧振器Q值的比較

　　中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)微電子學(xué)院左成杰教授為論文通訊作者，微電子學(xué)院博士生戴忠斌為論文第一作者。此項(xiàng)研究工作得到了國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃和中央高校基本科研基金的資助，也得到了中國(guó)科大微電子學(xué)院、中國(guó)科大微納研究與制造中心、中國(guó)科大先進(jìn)技術(shù)研究院和中國(guó)科學(xué)院無(wú)線(xiàn)光電通信重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的支持。