車載、工業(yè)電子零件要求的條件一年比一年嚴格，在這樣的情況下，能高精度測量絕對壓力、表壓、壓差的壓阻式壓力傳感器非常適合廣泛應(yīng)用在這些領(lǐng)域中。壓力傳感器的核心部件稱作管芯（die），它是將壓力轉(zhuǎn)化為電氣輸出的傳感元件。本期推文就來為您介紹TDK壓力傳感器管芯——C43 / C44系列。
壓阻式壓力傳感器
TDK提供一系列高精度壓阻式壓力傳感MEMS管芯，有各種壓力范圍和尺寸。它們的特點是靈敏度高、設(shè)計靈活，重點放在了提高介質(zhì)耐性，易于處理，整個產(chǎn)品壽命期間的高可靠性和穩(wěn)定的信號輸出上。
圖1 壓阻式壓力傳感
C43/C44產(chǎn)品系列介紹
壓力傳感器管芯C43和C44系列能夠測量表壓（C43、C44）、正面（C43）、背面（C44）的絕對壓力。該系列是進一步提高了廣受好評的C32管芯系列的功能后得到的新產(chǎn)品。它們測量壓力的范圍為0···10bar～0···40bar，溫度范圍為-40 °C～+150 °C。特別是通過C44的背面受壓方式測定絕對壓力時，液體、氣體等介質(zhì)的壓力施加在管芯的背面，所以可以完全防止這些介質(zhì)與上表面的電子電路構(gòu)成面的接觸。
圖2 C43 / C44系列
C43/C44管芯的主要特點
01加壓界限提高
C43 / C44系列的加壓界限大幅提高，最大150bar，有力地擴充了TDK面向高壓應(yīng)用的壓力傳感器管芯的產(chǎn)品系列。這種加壓界限的顯著上升是通過增加玻璃基座的陽極結(jié)合面積，減少空腔的體積實現(xiàn)的。
圖3 加壓界限提高
02長期穩(wěn)定性
信號輸出的精度在整個耐用期間都在±0.1%以內(nèi)（滿量程），長期穩(wěn)定性非常好，這也是一大特點。此外，為了限制對管芯性能的電磁、電化學(xué)影響，直接對MEMS的多層結(jié)構(gòu)進行電氣密封。
圖4 長期穩(wěn)定性
長期穩(wěn)定性試驗的步驟：
關(guān)于上述試驗、“長期穩(wěn)定性”的定義的詳細信息，請參考TDK公司網(wǎng)站的“AS標準100001”。
03通過現(xiàn)有傳感器封裝進行升級
對加壓界限需求更高的客戶，就可以通過與現(xiàn)行的C32管芯系列相同的傳感器封裝使用C43與C44系列。該系列焊盤的配置、高度和安裝面積與C32相同，但是加壓界限更高。買元器件現(xiàn)貨上唯樣商城。
圖5 通過現(xiàn)有傳感器封裝進行升級
MSMS管芯C44的特殊功能
圖6 MEMS管芯C44的特殊功能
產(chǎn)品概要
01車載應(yīng)用
在汽車領(lǐng)域，傳感器被用于測量不同介質(zhì)的壓力，對動力傳動系統(tǒng)的管理、安全系統(tǒng)提供支持。對于以往的汽油內(nèi)燃機汽車，為了提高燃油經(jīng)濟性，需要使用傳感器對發(fā)動機進行精確的控制。另外，對于處理廢氣，削減有害氣體的排放，傳感器也是不可缺少的。另一方面，在電動汽車的電力驅(qū)動系統(tǒng)、氫燃料電池應(yīng)用方面，也需要傳感器來協(xié)助管理蓄電池、燃料電池。
為了讓制動器、變速器、空氣懸架、供暖/通風(fēng)/空調(diào) （heating, ventilating and air conditioning: HVAC） 等各種車載組件也能有效發(fā)揮功能，精確監(jiān)測各種介質(zhì)的壓力是不可或缺的。在含有液壓油等液體的系統(tǒng)中，局部壓力可能上升（稱為壓力峰值），這可能會損傷傳感器管芯。C43和C44系列具有較高的加壓界限，十分結(jié)實，在這些峰值壓力下運行也能充分承受壓力，降低管芯故障的風(fēng)險。
為了滿足最新車載系統(tǒng)的嚴格要求，傳感器的長期穩(wěn)定性、高精度的壓力檢測不可或缺。
02工業(yè)應(yīng)用
在工業(yè)設(shè)備、系統(tǒng)中，壓力傳感器被用于水壓、空氣壓力驅(qū)動的機械、建筑HVAC系統(tǒng)、能源管理和水管理等中的控制和診斷。它已經(jīng)成為測定、控制技術(shù)不可或缺的重要組件。與氣體填充系統(tǒng)相比，使用液體的應(yīng)用需要更高的加壓界限。壓力峰值一般發(fā)生在泵、閥門、執(zhí)行器的初始運行期間。C43 / C44系列將在這些需要高加壓界限（脹裂壓力）的應(yīng)用中發(fā)揮真正的價值。
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