2月2日，湖南凱美特氣體股份有限公司 (以下簡稱“凱美特氣”)發布公告稱，公司控股子公司岳陽凱美特電子特種稀有氣體有限公司(以下簡稱“岳陽凱美特”)光刻氣產品獲得ASML子公司Cymer公司合格供應商認證。

根據公告，岳陽凱美特生產于2月2日收到Cymer公司發來的合格供應商認證函，岳陽凱美特生產的光刻氣產品通過了Cymer公司審查，Cymer公司已將凱美特電子特種氣體公司光刻氣產品列入合格供應商名單。

資料顯示，ASML子公司Cymer是世界領先的準分子激光源提供商，是深紫外技術的行業領導者，是ASML集團內一家獨立運營的企業。

Cymer公司發明了如今半導體制造中最關鍵的光刻技術所需的深紫外(DUV)光源，開發、制造和服務深紫外(DUV)光源。

產品組合包括使用氟化氬(ArF)或氟化氪(KrF)氣體產生深紫外光的準分子激光器。

凱美特氣表示，公司光刻氣產品通過Cymer公司的合格供應商認證，是Cymer公司對公司在光刻氣生產領域的生產能力、產品質量的認可，也是公司先進的產品生產技術、鋼瓶內壁處理技術、氣體分析技術等各方面綜合實力、競爭優勢的體現。

國產化浪潮下，國內廠商遇良機……

電子氣體是現代工業之基石，被譽為晶圓制造之“血液”，下游廣泛應用于集成電路、面板、醫療、光纖等新興行業和冶金、化工等傳統行業。

電子特氣在半導體晶圓制造應用中占比約70%，其次是面板顯示市場占比約20%。

除此之外，電子特氣還廣泛應用于LED、太陽能電池、醫療健康等領域。

在集成電路等高端領域，電子氣體被液化空氣集團、林德集團、大陽日酸、日本昭和電工等國外氣體公司壟斷，國內廠商市場份額較小。

然而，近年來，隨著全球晶圓廠的加速擴建以及產能的逐步釋放，下游市場對電子特種氣體的需求廣闊。

另外，隨著中國半導體制造的崛起，也加速推動了半導體材料的國產化進程。

有數據顯示，2017-2021年，中國特種氣體市場規模從175億元增至342億元，年復合增速達18%，預計到2026年中國特種氣體行業的市場規模將達到808億元，2021-2026年復合增長率為18.76%。

據悉，凱美特氣并否國內首家獲得ASML認證的電子特氣廠商，在此之前，國內另一家電子特氣上市公司華特氣體自主研發的Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne4種混合氣已于2017年得到ASML的認證。

此外，國內上市公司杭氧股份、金宏氣體、 南大光電等也均在逐鹿高端電子特氣領域。

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