當地時間3月11日，荷蘭光刻機大廠ASML 和 納米電子和比利時微電子研究中心imec 共同宣布，他們簽署了一項新的戰略合作協議，專注于研究和可持續發展。該協議為期五年，旨在通過整合 ASML 和 imec 各自的知識和專長，在兩個領域提供有價值的解決方案。首先，開發推動半導體行業發展的解決方案，其次，制定專注于可持續創新的計劃。

根據協議顯示，雙方此次合作整合了 ASML 的整個產品組合，重點是開發高端節點，使用 ASML 系統，包括 0.55 NA EUV、0.33 NA EUV、DUV 浸沒、YieldStar 光學計量和 HMI 單光束和多光束技術。這些工具將安裝在 imec 最先進的試驗線中，并納入歐盟和比利時政府資助的 NanoIC 試驗線，為國際半導體生態系統提供最先進的 2nm 以下研發基礎設施。研發的重點領域也將包括硅光子學、內存和先進封裝，為未來基于半導體的AI應用在多元化市場中提供全棧創新。

雙方此次合作的一個新領域是為imec研究渠道中的創新理念和活動提供重大資助，這些創新理念和行動帶來了環境和社會效益。

ASML總裁兼首席執行官Christophe Fouquet評論道：“這項協議標志著ASML和imec之間長期合作的下一步。它標志著我們共同致力于為半導體行業開發解決方案，并符合我們投資于技術和創新的戰略，這將造福整個社會。”

imec總裁兼首席執行官Luc Van den hove表示：“我們很高興能繼續與ASML保持長期獨特的合作關系，為行業提供30多年來最先進的圖案化解決方案。”“ASML完整的產品組合將使我們能夠擴大和進一步成熟我們的試點生產線的能力，為整個半導體生態系統提供最先進的研發，以應對人工智能驅動的技術進步的挑戰。由于imec非常注重可持續創新，因此將其明確納入我們的合作關系是一個很好的補充。”

ASML對該伙伴關系的投資得到了芯片聯合企業和比利時Flemish政府（用于實現歐盟芯片法案 NanoIC 試點線）以及荷蘭政府（作為歐洲共同利益的重要項目）提供的資金的補充。

NanoIC試驗線的收購和運營由芯片聯合企業、歐盟的數字歐洲（10118366）和地平線歐洲計劃（101183277）以及參與國比利時（Flemish政府）、法國、德國、芬蘭、愛爾蘭和羅馬尼亞共同資助。

在imec提供0.55 NA技術是荷蘭政府資助的Next Gen-7A 項目（IPCEI22201）的一部分，該項目是歐洲共同利益的重要項目（IPCE）。