??? 日前，由西安理工大學和北京有色金屬研究總院承擔的國家“863”計劃項目“TDR—150型單晶爐（12英寸MCZ綜合系統）” 在北京通過了驗收，這標志著擁有自主知識產權和核心技術的大尺寸" title="大尺寸">大尺寸集成電路與太陽能用硅單晶生長設備在我國" title="我國">我國研制成功。驗收專家組評價TDR—150型單晶爐性能穩定可靠，運行平穩，填補了國內12英寸無位錯硅單晶生長設備的空白。
“我國以單晶爐為代表的晶體生長" title="晶體生長">晶體生長設備一直存在核心技術不足的問題，高端產品" title="高端產品">高端產品均為國外公司所壟斷?！蔽靼怖砉ご髮W校長、課題組負責人劉丁教授介紹說，“硅單晶作為現代信息社會的關鍵性支撐材料，是目前世界上最重要的單晶材料之一，也是發展計算機與集成電路的主要功能材料?！?
“該項" title="該項">該項成果突破了國外技術封鎖與壟斷，初步改變了在我國晶體生長設備領域研發制造受制于人的局面?！?驗收組組長、清華大學自動化系教授楊耕說，“該課題的完成對我國微電子和光伏產業的發展將起到積極的促進作用?！?
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