基于感應(yīng)耦合比率臂的高精度位移測量系統(tǒng)
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：aet
文檔大小：224 K
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文檔介紹：討論了比率測量方法的優(yōu)點，介紹了運(yùn)用感應(yīng)耦合比率臂和差動式電容位移傳感器設(shè)計的高精度微小位移測量系統(tǒng)。給出了一種實驗系統(tǒng)的設(shè)計例子和主要的測試結(jié)果，說明了該設(shè)計在小位移測量中的有效性。
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