投資界－西安創(chuàng)業(yè)6月16日消息，日前，西安晟光硅研半導(dǎo)體科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“晟光硅研”）完成戰(zhàn)略融資，投資方為深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“捷佳偉創(chuàng)”），助力晟光硅研打造成為一個(gè)面向泛半導(dǎo)體行業(yè)擁有科技承載力和創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展示范性的高新技術(shù)公司。此次投資后，晟光硅研注冊(cè)資本增加至2133．33萬(wàn)元人民幣。

晟光硅研成立于2021年2月，主營(yíng)業(yè)務(wù)為半導(dǎo)體材料及專(zhuān)用設(shè)備的研發(fā)和銷(xiāo)售，主要產(chǎn)品包括圍繞第三代半導(dǎo)體晶圓材料的滾圓、切片、劃片等設(shè)備。作為新一代半導(dǎo)體材料加工設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)先者，晟光硅研擁有半導(dǎo)體加工設(shè)備領(lǐng)域核心技術(shù)專(zhuān)利9項(xiàng)，其掌握的微射流激光切割技術(shù)，已經(jīng)成功完成6英寸碳化硅晶錠的切割，可實(shí)現(xiàn)高效率、高質(zhì)量、低成本、低損傷、高良品率碳化硅單晶襯底制備，在第三代半導(dǎo)體切割領(lǐng)域具有獨(dú)創(chuàng)性、開(kāi)拓性與先導(dǎo)性，將引起全球范圍內(nèi)該領(lǐng)域的技術(shù)迭代，具有非常廣泛的推廣應(yīng)用價(jià)值。

據(jù)了解，晟光硅研發(fā)明專(zhuān)利一種碳化硅晶片單向四次雙向六及八級(jí)臺(tái)階切割工藝，通過(guò)上面在碳化硅晶錠厚度方向的對(duì)稱(chēng)位置第1次切割至最深位置；隨后在左邊和右邊同樣地進(jìn)行3次切割到與第1次相同深度，從而建立起一個(gè)相對(duì)平緩的多次水射流寬度的面，這個(gè)面作為避免水柱干擾的第二深度切割的起始面；在中心對(duì)稱(chēng)線(xiàn)的左側(cè)采用相同的噴口進(jìn)行第2層首次切割到其最深深度；隨后在厚度對(duì)稱(chēng)軸線(xiàn)的右側(cè)進(jìn)行2次切割，并達(dá)到與第2層首次切割的相同深度；進(jìn)行第3層首次切割，以達(dá)到碳化硅晶錠半徑以上深度。本發(fā)明通過(guò)臺(tái)階法切割實(shí)現(xiàn)單晶碳化硅晶錠的高深度切割，實(shí)現(xiàn)了高效率、高質(zhì)量、低成本、低損傷、高出品率制備SiC單晶襯底，具有推廣應(yīng)用的價(jià)值。

晟光硅研總經(jīng)理?xiàng)钌诒敬位顒?dòng)中首次公開(kāi)披露技術(shù)細(xì)節(jié)及技術(shù)延展路徑，微射流激光技術(shù)經(jīng)過(guò)晟光硅研團(tuán)隊(duì)持續(xù)兩年的研發(fā)，一次切割完成的晶片表面形貌已接近CMP處理水平。并完成9項(xiàng)專(zhuān)利注冊(cè)，6項(xiàng)原創(chuàng)發(fā)明專(zhuān)利的申報(bào)，并在切割技術(shù)領(lǐng)域已經(jīng)做好市場(chǎng)推廣計(jì)劃和長(zhǎng)期技術(shù)升級(jí)規(guī)劃。

西安航天基地投資合作委員會(huì)主任田農(nóng)指出，在中 美脫鉤的大背景下，國(guó)內(nèi)自主創(chuàng)新發(fā)展是必由之路，以碳化硅（SiC）為代表的第三代半導(dǎo)體一直以來(lái)備受市場(chǎng)重視，晟光硅研作為航天基地科技成果就地轉(zhuǎn)化項(xiàng)目，獲得了上市公司捷佳偉創(chuàng)的戰(zhàn)略投資，并得到行業(yè)頭部企業(yè)的認(rèn)可，是發(fā)展的重要里程碑。

投資方捷佳偉創(chuàng)董事長(zhǎng)余仲表示，隨著5G、人工智能、新能源車(chē)的快速發(fā)展，我國(guó)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)也正全面爆發(fā)，未來(lái)的發(fā)展需要前瞻科技，助力初創(chuàng)企業(yè)，推動(dòng)本土創(chuàng)新。面對(duì)這個(gè)重要?dú)v史機(jī)遇，捷佳偉創(chuàng)將助力晟光硅研，抓住信息產(chǎn)業(yè)半導(dǎo)體材料應(yīng)用領(lǐng)域最新發(fā)展趨勢(shì)，共同推動(dòng)中國(guó)半導(dǎo)體領(lǐng)域的換道超車(chē)。

捷佳偉創(chuàng)是一家國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的從事晶體硅太陽(yáng)能電池設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)。主要產(chǎn)品包括PECVD及擴(kuò)散爐等半導(dǎo)體摻雜沉積工藝光伏設(shè)備、清洗、刻蝕、制絨等濕法工藝光伏設(shè)備以及自動(dòng)化（配套）設(shè)備、全自動(dòng)絲網(wǎng)印刷設(shè)備等晶體硅太陽(yáng)能電池生產(chǎn)工藝流程中的主要及配套設(shè)備的研發(fā)、制造和銷(xiāo)售，2020年度年?duì)I業(yè)收入40余億。